一、精密零件切削加工
主要有精密車削、鏡面磨削和研磨等。在精密車床上用通過精細研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、外表高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡，最高精度可達0.1微米，外表粗糙度為Rz0.05微米。
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二、精密零件加工
精密零件加工精度以納米，甚至最后以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，超精密零件切削加工方法已不能適應(yīng)，必要借助特種精密零件加工的方法，即應(yīng)用化學能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯(lián)合能，從而去除工件外表的部分原子間的附著、聯(lián)合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。
